作者：牛文成,孙学珠,吴小晔,李华伟,那兴波,俞梅,陈兴梧,张福海,谢建湘 单位：中国电子学会 出版：《电子学报》2001年第05期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZXU2001050080 DOC编号：DOCDZXU2001050089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《HSGFET型臭氧传感器室温下对纳诺量级O_3的检测》PDF+DOC2001年第01期 牛文成,吴小晔,梅思滔,谢建湘,那兴波,李华伟,贾芸芳 《室温工作HSGFET型O_3传感器的特性检测和分析》PDF+DOC2003年第12期 俞梅,牛文成,孙钟林,李华伟 《基于In_2O_3膜HSGFET型功函数O_3传感器的研究》PDF+DOC2002年第02期 牛文成,俞梅,周雅光,张福海,李华伟,贾云芳,那兴波,罗伟栋 《具有敏感膜的MIS型固态氧传感器的研制》PDF+DOC1999年第02期 张瑞菊,俞梅 《WO_3对O_3敏感特性研究》PDF+DOC1999年第05期 杨留方,赵景畅,吴兴惠,袁波 《金属氧化物气敏传感器(V)》PDF+DOC1996年第04期 徐毓龙,G.Heiland 《基于新的亲脂性荧光试剂的光纤O_2传感器的研制》PDF+DOC1997年第04期 吕太平,Stefan Rasongi,Ursular E.Spichiger 《ISFET的设计制造和封装技术》PDF+DOC1995年第02期 唐国洪,陈德英 《采用SDB/SOI衬底的PH传感器》PDF+DOC1992年第01期 陈德英 ,唐国洪 ,花秀銮 《复合式氧传感器的研制及腧穴氧分压测定研究》PDF+DOC2005年第06期 尹飞,高建平,郭义,苗文方,李建宇,王卫,魏连海

    • 本文研究室温下工作 ，具有双敏感膜 ，检测ppb范围内O3 浓度的复合悬浮栅FET(HybridSuspendedGateFieldEffectTransistor即HSGFET)型臭氧传感器 .文中给出了四种固态HSGFET型臭氧传感器的实验结果 ，发现具有 [KI/A/LaF3]结构的传感器对O3有很好的响应特性 ；实验结果与由开尔芬 (Kelvin)探针得到的结果进行了比较 。

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