作者:王锋,史国伟,陈明 单位:北京长城航空测控技术研究所 出版:《测控技术》2001年第03期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFIKJS2001030050 DOC编号:DOCIKJS2001030059 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《谐振式声表面波加速度传感器特性研究》PDF+DOC1999年第03期 王生江,董永贵,冯冠平 《谐振器型声表面波加速度传感器的研究》PDF+DOC1998年第05期 王生江,董永贵,李源,冯冠平 《动态测试技术的发展系列讲座》PDF+DOC1998年第02期 张令弥 《硅微结构加速度传感器空气阻尼的研究》PDF+DOC1995年第12期 陈宏,鲍敏杭 《高性能可变电容式加速度计》PDF+DOC1990年第01期 L.Bruce WiIoer,梁永 《声表面波加速度计》PDF+DOC1990年第05期 周绍明 《声表面波(SAW)传感器(三)》PDF+DOC1985年第05期 蔡起善 《曲面过载保护的新型高g值冲击硅微机械加速度传感器的设计》PDF+DOC2003年第02期 董健,李昕欣,王跃林,张鲲,宋朝晖 《极板不平行对力反馈微加速度传感器可靠工作范围的影响》PDF+DOC2007年第05期 吴浩,车录锋,王俊杰,王跃林 《MEMS传感器在动态测试中的应用》PDF+DOC1998年第03期 翟成瑞,张文栋,周勇军,张斌珍,梁天波
  • 声表面波 (SAW)加速度传感器的精度高 ,具有数字量输出、体积小、功耗低、抗干扰力强、可靠性高等优点。根据SAW加速度传感器工程化的需要 ,对SAW加速度传感器中所采用的压膜阻尼进行了理论分析 ,并采用机电等效模拟技术对微间隙压膜阻尼进行了仿真 ,取得了较好的效果。这种分析方法同样适用于其他类型的传感器

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