《抗高过载微压传感器》PDF+DOC
作者:尹颢,杨恒,王文襄,沈绍群,鲍敏杭
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》2001年第04期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ2001040140
DOC编号:DOCCGQJ2001040149
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在提高微压传感器灵敏度的研究过程中 ,会遇到非线性和稳定性变差、过载能力不够以及静电封接时背岛与玻璃粘接造成器件失效等现象。提出了应力匀散结构和两层岛的限位结构 ,利用有限元分析和近似解析分析 ,设计了新的双岛 -梁 -膜结构 ,成功地研制出抗高过载微压传感器。量程为 0 .3kPa ,总精度为 0 .4% ,过载能力 >;140倍满量程
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