作者：陈德英,茅盘松,史建伟,熊涛,张旭,金肖科 单位：东南大学 出版：《电子器件》2001年第04期 页数：10页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZQJ2001040040 DOC编号：DOCDZQJ2001040049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微硅隧道加速度传感器设计》PDF+DOC2000年第04期 陈德英,茅盘松,史建伟,熊涛,迟姗,张旭 《隧道式加速度传感器的制备》PDF+DOC2000年第06期 陈德英 《振动式微硅型加速度传感器的研究》PDF+DOC1999年第02期 陈德英,茅盘松 《一种抗冲击加速度传感器的设计》PDF+DOC2015年第04期 熊磊,崔奇,张朋好 《一种MEMS扭摆式强磁场测量传感器》PDF+DOC2017年第02期 徐雪祥,张鉴,鲍霖,戚昊琛,杨文华 《平面振动式微硅型加速度计的结构设计》PDF+DOC1996年第06期 茅盘松 《摆式倾斜角度传感器原理与设计》PDF+DOC1993年第07期 王歧山,于晓洋,王雁,郭华 《基于气体摆式倾角传感器的架桥机防倾覆监测》PDF+DOC2003年第04期 马怀祥,高文中,贾粮棉 《一种新型力平衡扭摆式硅MEMS角加速度传感器》PDF+DOC2008年第01期 李建利,房建成,盛蔚

    • 本文介绍了扭摆式隧道加速度传感器的结构、工作原理、简化的力学模型 ，设计了版图、工艺流程及关键工艺 ，并制备出样品 ，最后给出测试电路和结果

    📙 相关资料

    1. 《微硅隧道加速度传感器设计》PDF+DOC 比较了压阻式、电容式和隧道式加速度传感器的特点 ，提出了扭摆式隧道加速度传感器的结构 ，给出了工作原理和设计模型 ，最后给出了结构尺寸、版图总图及试制的芯片照片。...
    2. 《隧道式加速度传感器的制备》PDF+DOC 隧道式加速度传感器具有高的灵敏度而被用来测试微小加速度，介绍了扭摆－隧道式加速度传感器的工作原理，结构特点，关键工艺及工艺制备的结果。...
    3. 《振动式微硅型加速度传感器的研究》PDF+DOC 介绍了振动式微硅加速度传感器的工作原理及改进后振动式微硅加速度传感器结构设计的计算结果，并给出了改进后加速度传感器的样品及主要制备工艺。...
    4. 《一种抗冲击加速度传感器的设计》PDF+DOC 随着应用领域的不断拓展，对加速度传感器的要求也越来越高。在某些应用场合，要求加速度传感器能够承受800g的冲击，普通加速度传感器在此冲击之下将发生断裂失效。介绍了一种金属悬丝摆式加速度传感器的工作原理，对加速度传感器悬丝支承进行了设计，根据悬丝支承的受力分析，通过增加限位结构，在未改变加速度传感器外......
    5. 《一种MEMS扭摆式强磁场测量传感器》PDF+DOC 提出了一种扭摆式结构的MEMS电容式强磁场传感器，采用洛伦兹力驱动，通过测量硅板扭摆导致的电容变化来检测外部磁场强度，测量磁场的量程设计在0.2 T～2 T之间。首先介绍了传感器的工作原理，然后对其进行仿真，分析其物理特性，建立了模型并且求解出各阶模态下的振动形式，得到传感器主振模态频率为28.26......
    6. 《平面振动式微硅型加速度计的结构设计》PDF+DOC 详细介绍了一种平面振动式微硅型加速度计的工作原理，并用理论力学和材料力学阐述了这种加速度计的结构设计方法。...
    7. 《摆式倾斜角度传感器原理与设计》PDF+DOC 介绍了摆式倾斜角度传感器的工作原理，重点介绍了设计要点，并对其误差进行了分析。该传感器的分辨率达20″，在&#177；5&#176；的角度量程范围内，具有0.3%的线性度。...
    8. 《基于气体摆式倾角传感器的架桥机防倾覆监测》PDF+DOC 介绍了CJRS-A4型气体摆式倾角传感器在铁路架桥机防倾覆装置中的应用，包括传感器的工作原理、传感器的布置、监测控制系统组成及原理等。...
    9. 《一种新型力平衡扭摆式硅MEMS角加速度传感器》PDF+DOC 在很多控制、监测和导航系统中，不仅需要角位移和角速度信息，同时还需要角加速度信息，为了测量角加速度信息，首次提出了一种力平衡扭摆式硅MEMS角加速度传感器，采用具有大扭转惯量的扭摆式活动极板作为敏感元件，长方形金属电极板作为电容式变换器，静电力实现力平衡反馈回路，文中介绍了扭摆式硅MEMS角加速度传......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。