作者：徐雪祥,张鉴,鲍霖,戚昊琛,杨文华 单位：东南大学 出版：《电子器件》2017年第02期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZQJ2017020100 DOC编号：DOCDZQJ2017020109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 提出了一种扭摆式结构的MEMS电容式强磁场传感器，采用洛伦兹力驱动，通过测量硅板扭摆导致的电容变化来检测外部磁场强度，测量磁场的量程设计在0.2 T～2 T之间。首先介绍了传感器的工作原理，然后对其进行仿真，分析其物理特性，建立了模型并且求解出各阶模态下的振动形式，得到传感器主振模态频率为28.26 k Hz。并模拟了受力过程中的形变量。最后介绍了其制造工艺流程，验证了传感器加工的可行性。

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