作者：李志信,罗小兵,过增元 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2001年第09期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2001090190 DOC编号：DOCCGQJ2001090199 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 主要介绍了MEMS的研究和应用现状 ，分别从市场和技术的角度分析了MEMS的发展趋势。还根据国内研究现状 ，提出了我国发展MEMS的若干设想

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