作者：李艳杰 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2012年第02期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2012020410 DOC编号：DOCCGQJ2012020419 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍了一种具有差动输出石英力传感器，该传感器由轮辐式弹性结构和2只石英力敏谐振器组成。利用分别位于正负应力区2只力敏元件感知作用力的大小，进而进行差动输出，以实现零点温漂与时漂自补偿。分析了弹性梁的结构特性；介绍了双端音叉石英力敏谐振器的结构、力学特性及力传感器的制作过程。对传感器进行了静态测试，结果表明：传感器测量范围为0～300N，静态精度为0.05%。

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