作者：叶俊,吴宏熊,叶晓伟 单位：中国电子学会 出版：《电子技术与软件工程》2017年第06期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZRU2017060810 DOC编号：DOCDZRU2017060819 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 现阶段，硅微机械谐振压力传感器应该是稳定性最好及精确度最高的传感器，在航空航天及工业等领域内广泛应用。按照硅微机械谐振压力传感器目前研究成果，对硅微机械谐振压力传感器工作原理进行阐述，分析不同类别硅微机械谐振压力传感器芯体结构，对硅微机械谐振压力传感器未来发展方向进行分析，希望能够增加对硅微机械谐振压力传感器技术的了解。

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