作者:胥震,欧阳清,施冠羽,易定和 单位:沈阳仪表科学研究院有限公司 出版:《仪表技术与传感器》2012年第10期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYBJS2012100020 DOC编号:DOCYBJS2012100029 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 对定齿偏置电容式加速度传感器进行了参数设计和优化。通过有限元仿真分析软件计算出其特征频率与典型振动模态,结果表明:传感器具有较大的频率响应范围,检测模态特征频率远小于其他模态,有效减小了交叉干扰。最后,给出了基于MEMS技术的电容式加速度传感器的加工工艺。

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