作者：谢晓,王文,刘明华,何世堂 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2012年第12期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2012120000 DOC编号：DOCCGJS2012120009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 采用微扰理论分析了覆盖聚合物敏感膜的水平剪切型声表面波气体传感器(SH-SAW)的响应机理。以针对有机磷毒剂具有良好选择性的含氟多羟基聚硅氧烷(FPOL)膜材料为例，分析了聚合物膜厚以及传感器工作频率在敏感膜吸附气体时对传感器响应的影响。计算结果表明，SH-SAW气体传感器对于不同浓度的甲基磷酸二甲酯(DMMP)气体响应随FPOL膜厚和传感器工作频率的改变呈现非线性变化。为了获得线性特性的传感器响应及较小的声波衰减，在一定的DMMP气体浓度检测范围内，通过理论计算提取出了优化的FPOL敏感膜膜厚和传感器工作频率等参数。

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