作者：史慧超,樊尚春 单位：中国航空工业集团公司;北京长城计量测试技术研究所 出版：《计测技术》2012年第S1期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHKJC2012S10310 DOC编号：DOCHKJC2012S10319 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对谐振式硅微机械压力传感器输出信号十分微弱、检测难度大的问题，从结构设计的角度分析了相应的解决方法。将对昆虫孔缝结构振动感受器的研究与谐振式微机械压力传感器的设计相结合，提出在谐振敏感结构中引入孔缝结构，通过孔缝应力集中效应提高检测信号的强度，实现传感器检测性能的提高。

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