作者：黄林,陈向东,谢宁宁,李晓钰 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《半导体技术》2012年第06期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTJ2012060020 DOC编号：DOCBDTJ2012060029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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