《硅微谐振式压力传感器测试方法研究》PDF+DOC

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2. 《热激励谐振式硅微结构压力传感器闭环系统》PDF+DOC 讨论了一种热激励谐振式硅微结构压力传感器闭环系统。该谐振式硅微结构压力传感器以方形硅膜片作为一次敏感元件 ；硅梁作为二次敏感元件。在硅梁谐振子的中部设置一电阻 ，作为热激励单元 ；在梁的根部设置一压敏电阻 ，作为拾振单元。基于该谐振式硅微结构压力传感器敏感机理 ，分析了信号的相互转换 ，给出了传感器......
3. 《热激励谐振式硅微结构压力传感器》PDF+DOC 针对一种以矩形硅膜片为一次敏感元件、硅梁谐振子为二次敏感元件采用电阻热激励、压敏电阻拾振的谐振式压力微传感器 ，简述了其工作机理 ；从谐振式硅微传感器整体优化设计、闭环系统优化设计、微弱信号检测、敏感元件工艺实践、开环特性测试等方面介绍了该传感器研究与研制过程中近期取得的阶段性研究结果...
4. 《一种新型充油压阻高压传感器》PDF+DOC 本文提出了一种由金属膜片、硅油、压阻敏感元件复合而成的高压传感器新结构，这种结构利用金属膜片的刚度与硅油可压缩性的合理匹配，实现了用普通低量程压阻敏感元件制造高量程压力传感器，二者的量程比可达到10~2～10~3。介绍了该传感器的工作原理、数学模型和设计方法。介绍了一个用2MPa的压阻元件制成300......
5. 《未来的传感器技术》PDF+DOC 1.引言种种迹象表明在末来的十年中对传感器的需求量将继续增长。可以确信对各种形式传感器的年需求增长量可达10～15%，而新型压力传感器的年增长率可能最大。造价低、结构牢固、性能可靠、能与计算机控制系统配套的传感器应作为重点。不同领域对未来传感器的要求是不同的，例如各种工业过程中使用的传感...
6. 《压阻集成化的压力传感器》PDF+DOC 一、前言在很多新的领域里，已经出现了应用微型计算机的仪表和装置，这些装置一般都有一个或多个传感器，其低电平输出信号，在传输给远处的微型计算机之前，通过信号调整电路被放大。随着硅传感器工艺的进步，现在正在使传感器、信号调整电路做成一体的集成化传感器。...
7. 《基于E型圆膜片的复合差动谐振式敏感元件》PDF+DOC 对以E型圆膜片为一次敏感元件、一对对称的硅梁谐振子为二次敏感元件的复合差动敏感元件的力学特性进行了分析。给出了其敏感压力、差压、集中力与加速度时，梁谐振子固有频率随被测量变化的解析计算模型。...
8. 《热激励硅谐振式压力传感器温度场的有限元计算》PDF+DOC 针对一种典型的采用电阻热激励、压敏电阻拾振的压力微传感器的实际结构，利用有限元法系统地对其温度场进行了模拟计算。分析并得出了激励电阻在梁谐振子上位置、长度、宽度变化时；梁谐振子长度、宽度、厚度变化时；以及激、拾振电阻共同作用时，梁谐振子温度场的分布规律。...
9. 《谐振式硅微结构压力传感器非线性振动特性研究》PDF+DOC 本文研究了谐振式硅微结构压力传感器在单频激励和双频激励情况下的非线性振动特性。利用多尺度法研究运动方程中三次非线性项对传感器频率特性的影响规律，提出了改善谐振式硅微结构传感器特性的方法以及在实现闭环自激系统时应采取的措施。...
10. 《谐振式压力传感器驱动仿真研究》PDF+DOC 谐振式传感器由于其重量轻、精度高、响应快在压力测量领域获得了飞速发展，传感器的构成包括机械谐振子在内的机电一体的谐振系统，而驱动系统对保持机械谐振器振荡的稳定性和可靠性起着重要作用。本文针对一种典型结构的谐振式压力传感器，分析比较了不同的闭环驱动结构，最后构建了其行为级闭环自激仿真模型，在MATLA......