《热激励谐振式硅微结构压力传感器》PDF+DOC

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2. 《热激励谐振式硅微结构压力传感器》PDF+DOC 针对一种以矩形硅膜片为一次敏感元件、硅梁谐振子为二次敏感元件采用电阻热激励、压敏电阻拾振的谐振式压力微传感器 ，简述了其工作机理 ；从谐振式硅微传感器整体优化设计、闭环系统优化设计、微弱信号检测、敏感元件工艺实践、开环特性测试等方面介绍了该传感器研究与研制过程中近期取得的阶段性研究结果...
3. 《热激励硅谐振式压力传感器温度场的有限元计算》PDF+DOC 针对一种典型的采用电阻热激励、压敏电阻拾振的压力微传感器的实际结构，利用有限元法系统地对其温度场进行了模拟计算。分析并得出了激励电阻在梁谐振子上位置、长度、宽度变化时；梁谐振子长度、宽度、厚度变化时；以及激、拾振电阻共同作用时，梁谐振子温度场的分布规律。...
4. 《硅微谐振式压力传感器测试方法研究》PDF+DOC 为了解决硅微谐振式传感器输出信号测试设计周期长，费用高；测试过程时间长，误差大的问题引入了了组合是敏感方法和压阻变换的原理。作为测试压力传感器的重要方法，本文介绍了上述方法的相关验证实验，最后针对实验结果做了简要分析。...
5. 《谐振式硅微结构压力传感器非线性振动特性研究》PDF+DOC 本文研究了谐振式硅微结构压力传感器在单频激励和双频激励情况下的非线性振动特性。利用多尺度法研究运动方程中三次非线性项对传感器频率特性的影响规律，提出了改善谐振式硅微结构传感器特性的方法以及在实现闭环自激系统时应采取的措施。...
6. 《关于谐振式硅微结构压力传感器的综合研究》PDF+DOC 谐振式硅微结构压力传感器以其高精度和高稳定性成为多领域测试压力时的首选传感器。本文对近三十年间国内国外对谐振式硅微结构压力传感器的相关研究进行综述，简介其原理与类别，具体分析两种不同芯体的传感器的研究概况，并对芯体不同传感器的激励方式和检测方式进行对比，分析各自的特点，最后展望谐振式硅微结构压力传感......
7. 《复合材料方形膜的压力频率特性》PDF+DOC 基于一种典型的微结构硅谐振压力传感器由多层不同材料构成的谐振子的实际结构特点，建立了被测压力与谐振子静挠度、谐振子固有频率的数学模型．计算和分析了谐振子的振动特性，给出了各复合材料层的几何参数、物理参数对其振动特性的影响规律．揭示了复合材料方形膜的压力频率特性，为设计该类谐振子提供了理论依据．...
8. 《基于E型圆膜片的复合差动谐振式敏感元件》PDF+DOC 对以E型圆膜片为一次敏感元件、一对对称的硅梁谐振子为二次敏感元件的复合差动敏感元件的力学特性进行了分析。给出了其敏感压力、差压、集中力与加速度时，梁谐振子固有频率随被测量变化的解析计算模型。...
9. 《谐振式硅微结构传感器综合测试分析仪》PDF+DOC 提出了一种谐振式硅微结构传感器综合测试分析仪器，用于微机械谐振式传感器各关键环节的测试、分析与评估。主要解决测试对象特性模型、微弱信号处理、测试数据分析评估等问题，并将有关理论和技术集成为一台模块化的、具一定开放性的测试仪器。该测试仪器对于深入掌握谐振式硅微结构传感器谐振子和闭环系统的特性和优化方法......
10. 《微谐振式压力传感器的差动输出设计与建模》PDF+DOC 提出一种应用于微谐振式压力传感器的敏感结构，其一次敏感元件为矩形硅膜片，膜片的上表面架设有三个两端固支的硅谐振梁，间接感受压力作用，根据膜片上不同位置设置的硅谐振梁的固有频率对于压力变化有不同的变化规律的特点，实现对被测压力的差动输出检测。针对这种结构，建立被测压力与谐振梁固有频率的数学模型。设计实......