作者：焦海龙,陈德勇,王军波,李玉欣,李浩 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2012年第01期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2012010110 DOC编号：DOCYBJS2012010119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对基于谐振式MEMS传感器开发数字智能仪器仪表的高精度、快响应频率测量技术展开研究。以一谐振式MEMS气压传感器为开发样件，其差分输出是两路40～70 kHz之间的正弦频率信号。对传统的频率测量方法进行阐述分析，提出一种新的结合传统测频方法各自优点的频率检测方法。设计实现相关软、硬件，搭建测试系统，实验结果表明该测频方案针对40～70 kHz的频率信号误差小于&#177；0.02 Hz，响应时间为1 s以内。

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