作者：杨川,郭灿 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2010年第01期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2010010130 DOC编号：DOCCGQJ2010010139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 提出了一种基于TiN双谐振梁结构的MEMS谐振式压力传感器，利用TiN谐振梁的谐振频率与被测压力的关系进行压力测量。针对传感器的敏感结构建立了数学模型，通过理论分析和ANSYS有限元软件的模拟，得出了谐振梁长度的变化范围和谐振梁的结构参数，并确定了TiN谐振梁在矩形压力膜上方的最佳位置。这对传感器的结构设计具有重要的指导意义。

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