作者:刘宏,刘东升,谷云峰 单位:山西省电子工业科学研究所;山西省电子学会 出版:《山西电子技术》2012年第03期 页数:2页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFSXDS2012030350 DOC编号:DOCSXDS2012030359 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 金属氧化物直热式气体传感器是一种功耗很低的气体传感器,本文叙述了金属氧化物直热式传感器的制作工艺研制的过程,并对该项技术的发展方向进行了展望。

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