作者：朱思敏,谭秋林,裴向东,熊继军 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2012年第11期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2012110300 DOC编号：DOCCGQJ2012110309 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文基于MEMS工艺所设计的气体传感器，克服了以往同类传感器响应时间长，读取数据量小，功耗大等缺点。由于温度作为气体传感器的一个重要工作条件，其敏感薄膜上温度的均衡度直接影响气体传感器的工作性能。该传感器采用悬浮薄膜式堆叠结构，堆叠层主要包含硅基底、隔离层、加热电极、绝缘层以及敏感薄膜。这样的结构设计是为了形成热隔离真空腔，真空环境可以有效降低温度瞬变对敏感薄膜的影响。利用ANSYS软件建立该结构建模，并对其进行温度仿真后发现该结构符合预期的理论分析，其响应时间缩短，拾取的数据量大幅增加，同时功耗有效降低。

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