《碳纳米管场效应型DMMP气敏传感器研究》PDF+DOC
作者:陈海燕,陈长鑫,戴振清,杨志,魏良明,徐东,张亚非
单位:中国电子科技集团公司第十三研究所
出版:《微纳电子技术》2012年第01期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFBDTQ2012010130
DOC编号:DOCBDTQ2012010139
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基于单壁碳纳米管(SWCNT)的场效应气体传感器由于具有传感性能好、体积小、室温操作和加偏压自我解吸附等优良性能,有着广泛的应用前景。利用单壁碳纳米管自组装技术在SiO2/Si基底上制备均匀分布的SWCNT薄膜,将其作为沟道制作了具有灵敏开关特性的场效应晶体管(FET),该FET器件的开关比达到105。将此FET器件作为气体传感芯片用于甲基膦酸二甲酯(DMMP)气体分子的检测。结果显示,当通入DMMP气体时,器件的阈值电压向负栅电压方向移动。当DMMP体积分数为5×;10-6,栅压为-10 V时,器件的灵敏度达到32%,响应时间为300 s。在15 V的栅压下器件能够很快地实现气体解吸附。
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