作者：武晋波,杨卫,张雪莲 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2014年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2014050230 DOC编号：DOCCGQJ2014050239 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为了实现高温、机械旋转和密闭空间等恶劣环境中的原位温度测量，以高居里点的铁电陶瓷为温度敏感介质材料，在传统低温共烧陶瓷(LTCC)工艺的基础上，采用牺牲层填充技术，保证了制备过程的工艺兼容性，成功制备出了一种基于LTCC衬底的新型无源电容式温度传感器。通过外部读取天线与传感器线圈的互感耦合，实现了从常温至700℃的传感器温度特性测试，测试结果表明：这种电容式温度传感器具有良好的温度敏感特性，其平均灵敏度为-7.33 kHz/℃。

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