作者：江兴 单位：中国电子科技集团公司第五十五研究所 出版：《》 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDXX2012050290 DOC编号：DOCBDXX2012050299 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • X-FAB，这家已经出货超过十亿MEMS器件的晶圆厂，近日又再次发表业界首个为微机电系统(MEMS)三轴惯性传感器(3Dinertialsensor)提供的开放性平台，一个可以直接从代工厂量产的工艺。那些需要进入新的3D惯性传感器的无晶圆设计公司可以直接在这个工艺上进行设计开发或使用X-FAB的合作设计公司的方案，而且可以直接上量，无需再进行长时间和巨资的工艺开发。X-

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