作者：李明,于强,翟光杰,孙志斌 单位：中国科学院国家空间科学中心;中国空间科学学会 出版：《空间科学学报》2012年第06期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFKJKB2012060130 DOC编号：DOCKJKB2012060139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《热隔离式MEMS气体质量流量传感器设计》PDF+DOC2016年第06期 谷永先,曾鸿江,邬林,胡娜娜,钱江蓉 《小流量热式气体流量的数值模拟研究》PDF+DOC2016年第11期 韩建,黄颖,牟海维,刘鹤 《热隔离式MEMS气体流量传感器的设计》PDF+DOC2020年第08期 徐洋 《等离子弧焊离子气流量控制器》PDF+DOC1994年第04期 郑兵,王其隆,刘东,武志胜 《LRG型防爆量热式气体质量流量计》PDF+DOC1992年第08期 张柏汀 《热式气体质量流量计在石油化工科研装置上的应用》PDF+DOC1980年第04期 林振锋,韩来谦 《热导式质量流量计在大管径气体流量测量中的应用》PDF+DOC2003年第03期 刘跃辉 《电阻悬浮的MEMS热膜式气体流量传感器设计》PDF+DOC2012年第09期 代富,高杨,官承秋,周斌,何移 《亚硝胺化学发光检测系统气体流量控制器设计》PDF+DOC2012年第07期 刘勇,马新建,计敏,李志刚 《MEMS热膜式微流量传感器》PDF+DOC2013年第07期 侍艳华,何秀丽,高晓光,贾建,李建平

    • 提出了一种高可靠气体质量流量控制器设计.介绍了该流量控制器的原理和结构.通过比较不同的气体流量传感器和阀门，选择了可满足空间科学实验设备可靠性要求的MEMS传感器和针阀.MEMS质量流量计的输出电压(代表实际气体流量)，经过减法电路放大和A/D采样之后，与设定电压(代表设定的气流流量)进行比较，差值信号输入给PID控制器，由其输出步进电机的控制脉冲数和方向，步进电机驱动器驱动电机调节流过针阀的气体流量，使之与设定流量相等.给出了利用该气体质量流量控制器控制氧气流量的实验结果.该系统可实现流量的灵活调节，并具备空间科学实验设备所要求的性能，为未来在空间利用气体流量连续可调的质量流量控制计进行燃烧科学实验奠定了基础。

    📙 相关资料

    1. 《热隔离式MEMS气体质量流量传感器设计》PDF+DOC 研制了一种热隔离式微机电系统(MEMS)气体质量流量传感器。加热电阻器和上下游测温电阻器采用热隔离悬梁式结构，间隔240μm。对恒温差电路的设计要点进行了分析并制作了系统电路。测试拟合了传感器输出电压随气体流量的关系曲线，并对传感器进行了标定。测试结果表明：在0~20 L/min的流量范围内，传感器......
    2. 《小流量热式气体流量的数值模拟研究》PDF+DOC 为了研究火烧油层采油技术中火烧井空气(助燃剂)的注入状况和监测微小气体流量，提出了一种具有自动温度补偿功能及混合气体组分补偿功能的小流量热式气体质量流量测量方法。为适应井下狭小空间的复杂操作环境，在传统传感器结构的基础上，在管道中加入环形分布器的传感器优化结构。利用FLUENT进行流体仿真，验证该结......
    3. 《热隔离式MEMS气体流量传感器的设计》PDF+DOC 本文设计了一种热隔离式MEMS气体流量传感器系统，系统基于复合支撑薄膜电调制红外辐射源，是单片式电容硅基微传声器，借助接口连接微孔粉尘过滤、低温除湿器，实现MEMS与IC集成。在紧急应急方面，借助长光程气体池、光路系统，对光源、检测器进一步优化，通过可扩充多气体分析软件、仪器自动操控软件，在线监测化......
    4. 《等离子弧焊离子气流量控制器》PDF+DOC 设置在气路中的气体压差传感器检测离子气流量，输出电压信号，经放大调制后与设定电压进行比较，经压频转换作为步进电机的控制信号来调节气阀的开度，以实现离子气流量按设定规律变化或保持恒值的闭环控制。...
    5. 《LRG型防爆量热式气体质量流量计》PDF+DOC 一、前言国内现有气体流量测量仪表有带节流装置(如孔板、喷嘴等)的差压流量计、腰轮流量计、浮(转)子流量计(玻璃管式、金属管式)、涡轮和翼轮流量计、旋涡流量计(旋进式、卡曼涡街式)、靶式流量计等。以上这些不同工作原理的气体流量仪表虽各有其优缺点，但均属于体积流量计，要准确测量气体流量，需要作温度、压力......
    6. 《热式气体质量流量计在石油化工科研装置上的应用》PDF+DOC 微小流量的自动检测器是实现石油化工科研装置自动化的重要工具，该技术由于热式气体质量流量计的研制成功而臻完善。本文介绍热式气体微质量流量计的结构、原理、性能和特点，并结合应用实例说明它在石油化工等科研装置上广泛应用的前景。...
    7. 《热导式质量流量计在大管径气体流量测量中的应用》PDF+DOC 本文介绍了热导式质量流量计的特点及在大管径气体流量测量中的应用 ，并将其与差压式流量计进行了技术分析、比较 ，探讨了热导式质量流量计取代差压式流量计的可行性...
    8. 《电阻悬浮的MEMS热膜式气体流量传感器设计》PDF+DOC 设计了一种新型电阻悬浮结构的热膜式气体流量传感器，具有测量精度高、灵敏度好、抗压能力强、微加工工艺简单等特点。采用ANSYS软件对传感器芯片在不同流速下的温度场进行了有限元仿真，得出了上下游温差与流速的关系曲线。通过比较热膜电阻非悬浮与悬浮时的导热损失和压力分布，得到了将热膜电阻悬浮的流量传感器的性......
    9. 《亚硝胺化学发光检测系统气体流量控制器设计》PDF+DOC 微小流量气体的质量流量控制是亚硝胺化学发光检测的重要组成部分，气体流量的控制精度对检测结果有重要影响。文中根据反馈控制的原理，采用微型电磁比例阀、流量传感器、数字控制电路和PID算法搭建了一套适用于微小流量场合的气体流量控制装置。设计了比例阀的驱动电路，传感器的信号调理电路，微控制器电路，针对被控对......
    10. 《MEMS热膜式微流量传感器》PDF+DOC 针对气体红外吸收的气动探测应用，设计并制备了一种基于微电子机械系统(MEMS)技术的热膜式微流量传感器。研究了热敏电阻间距以及工作温度对传感器灵敏度的影响。当热敏电阻间距为200μm、工作温度为150℃以及气体流量在-5～5 mL/min时，微流量传感器输出信号与气体流量成线性关系，灵敏度约为299......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。