作者：王晓倩,李鹏,孟祥然,徐鹏飞,冯薪霖,薛晨阳,闫树斌 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2012年第08期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2012080070 DOC编号：DOCCGJS2012080079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对高量程加速度测试需求，提出了一种基于光弹效应的新型光学加速度传感器；利用MATLAB软件和时域差分有限元(FDTD)对微环谐振腔悬臂梁加速度计的结构进行优化设计，详细分析了波导传输模态，传感器灵敏度以及工作带宽与波导尺寸、微悬臂梁尺寸的关系。在优化设计的基础上，通过ANSYS软件对悬臂梁的抗冲击性能进行仿真，其抗冲击可达104gn，灵敏度为10-2pm/gn，能有效满足高冲击、强烈振动场合的特殊测试要求，可以应用于侵彻系统，并为集成小型化高灵敏抗冲击微光机电系统(MOEMS)传感器提供理论参考。

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