作者：胡杰,薛晨阳,张文栋,张斌珍,乔慧 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2008年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2008040130 DOC编号：DOCCGJS2008040139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 提出了一种新型的基于AlAs/InxGa1-xAs/GaAs共振隧穿纳米薄膜结构的压阻式加速度计结构，运用MATLAB软件对敏感结构参数进行了计算，并利用ANSYS软件对加速度计结构进行了静态和模态分析，首次采用空气桥和控制孔加工工艺对共振隧穿二极管和悬臂梁-质量块结构进行了加工，并对加工出来的加速度计结构进行了频响特性实验。

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