作者： 单位：中国航空制造技术研究院 出版：《航空制造技术》2011年第06期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHKGJ2011060300 DOC编号：DOCHKGJ2011060309 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 随着我国汽车电子、新型数字消费电子和医疗电子等产业的快速发展，对MEMS传感器的各种新需求和基于该技术的创新不断涌现，

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