作者:商世广,赵玲,李昕,刘君华,赵萍,邢立冬 单位:中国科学院上海微系统与信息技术研究所;中国材料研究学会 出版:《功能材料与器件学报》2011年第02期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFGNCQ2011020010 DOC编号:DOCGNCQ2011020019 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 本文采用传统的光刻工艺、丝网印刷技术和烧结工艺在ITO透明导电薄膜上制备出电容式的碳纳米管(CNT)膜气敏传感器,探讨扫描电压、工作频率和各种工艺参数对其性能的影响。光学显微镜测试表明,丝网印刷的CNT膜表面平整、分布均匀。扫描电镜表征显示,在大气中300℃烧结能促使有机粘合剂充分地分解和蒸发,在CNT膜中留下能有效提高气体吸附面积的丰富间隙。半导体特性分析仪分析表明,CNT膜气敏传感器经300℃烧结后在室温条件下,电容和电导对乙醇的灵敏度分别为198%和197%。

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