作者:董宁宁,殷晨波,张子立,朱斌 单位:中国微米纳米技术学会;东南大学 出版:《传感技术学报》2011年第07期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGJS2011070030 DOC编号:DOCCGJS2011070039 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《SAW氢传感器的有限元仿真与分析》PDF+DOC2008年第01期 周俊静,殷晨波 《低浓度氢气检测方法研究进展》PDF+DOC2009年第05期 张兴磊,花榕,陈双喜,周跃明,陈焕文 《基于稀疏分解残差的氢气传感器故障探测与辨识方法》PDF+DOC2017年第08期 韦宝泉,付智辉,邓芳明,吴翔,谭畅 《AlGaN/GaN HEMT氢气传感器不同温度下响应特性的研究》PDF+DOC2020年第01期 陈金龙,阎大伟,王雪敏,符亚军,吴卫东,曹林洪 《一种新型液体密度声传感器研究》PDF+DOC1995年第05期 邓明晰 《MISiC高温氢气传感器研究》PDF+DOC2003年第05期 陈卫兵,宋跃 《化学战剂检测技术的研究进展》PDF+DOC 张超,魏东炜,李复生 《室温全固态电位型氢传感器研究》PDF+DOC2008年第12期 郭贵宝,周从雨,安胜利 《基于虚拟仪器的光纤氢气传感器的设计》PDF+DOC2007年第12期 崔陆军,陈幼平,张冈 《WO_3气敏薄膜的制备方法》PDF+DOC2013年第04期 涂越,李强,蒋丹宇
  • 设计了声表面波氢气传感器的结构,利用ANSYS软件建立了声表面波传感器的有限元模型,并对SAW氢气传感器进行了仿真,最后用数据处理软件Origin分析了敏感薄膜的材料参数对传感器输出的影响。传感器通入1 000×10-6的氢气后,钯膜的厚度、密度、弹性模量等发生了相应改变,进而导致输出电压、频率等发生改变。分析表明:钯膜的厚度增大时,声表面波在压电基底上的传播速度减慢,频率变小,输出端电压的幅值增大;钯膜的密度变小时,输出端电压的幅值变小;钯膜的弹性模量变小时,输出端电压的幅值增大,时间上略有延迟。

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