作者：魏长征,周伟,李昕欣 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2011年第11期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2011110010 DOC编号：DOCYBJS2011110019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 文中介绍了一种以表面微机械技术制造的带有片上静电自检测功能的压阻式加速度传感器。该芯片制造利用了表面微机械加工技术，以低应力氮化硅薄膜为结构材料，多晶硅作为压阻材料，引入了准LIGA的电镀铜工艺，实现了一款低成本、与IC制造工艺相兼容的压阻式加速度传感器。电镀的铜质量块使压阻输出获得了足够高的灵敏度。利用金属质量块和衬底形成的一对电极，实现了可片上检测器件是否正常工作的片上静电自检测功能。传感器测试结果表明，加速度输出灵敏度为25.1μV/g，-3 dB频率带宽为1.3 kHz。

    📙 相关资料

    1. 《基于MEMS和静电探测技术的新型复合引信》PDF+DOC 为解决有效转换成为快速作战的最大瓶颈问题，研制一种新的能满足小口径对空武器发展需求的复合引信。通过对近代小口径对空武器毁歼目标机理的分析，依据提高小口径对空武器毁歼目标概率的有效方法，基于高g值MEMS(micro-electro-mechanical systems)传感器及被动式静电探测技术，阐......
    2. 《封装对高量程MEMS加速度传感器性能的影响》PDF+DOC 高g值加速度传感器可用于钻地武器，通常以每秒几千英尺的速度钻入地面、混凝土、岩石或其他的坚硬物质，所用的加速度传感器既要抗击如此苛刻的工作环境，又有快速响应冲击与钻入的整个过程。因此，钻到武器用加速度传感器要有很宽的测量范围、耐受高冲击且频率响应高。高量程MEMS加速度传感器是测量高冲击过程的核心器......
    3. 《微机械技术在航天传感器技术中的运用分析》PDF+DOC 微机械技术是一种新兴的机械工业技术，其有着智能化、微型化、分辨力高的特点，利用微机械技术能够开发出一批性能优良的传感器，在航天领域的应用十分广泛。基于以上，文章从微机械技术分析入手，探讨了微机械技术在航天传感器技术中的运用优势，并研究了微机械技术在航天传感器中的具体运用。...
    4. 《一种高灵敏度硅压阻式加速度传感器的研究》PDF+DOC 本文介绍了一种高灵敏度硅压式加速度计的工作原理、结构、工艺技术及测定方法 ，得到了能提高加速度传感器输出性能的有价值的结论。...
    5. 《一种高灵敏度硅压阻式加速度传感器的研究》PDF+DOC 介绍一种高灵敏度硅压阻式加速度计的工作原理、结构、工艺技术及测定方法 ；通过分析和实践 ，得到了能提高加速度传感器输出性能的有价值的结论。...
    6. 《高g值加速度计在高冲击下的失效特性的研究》PDF+DOC 弹体高速侵彻硬目标过程中，弹载电子仪器特别是加速度传感器承受了高g值加速度冲击作用。主要研究了在冲击环境下加速度计的零漂机理、机械滤波器的保护、加速度计与信号导线的失效分析等问题，研究结果对弹载电子仪器的抗高冲击设计和正常使用具有一定的参考价值。...
    7. 《高g值微机械加速度传感器的现状与发展》PDF+DOC 本文对用于侵彻武器和爆炸现场测量的高g值加速度传感器进行了四顾与展望。重点介绍了采用微机械工艺的高g值微加速度传感器。首先分析了目前几种新型压阻式和电容式高g值硅微机械加速度传感器的基本工作原理，主要技术指标和敏感元件的结构特点，讨论了几种用于制作高g值微加速度传感器的新型材料和工艺。最后总结了高g......
    8. 《无线传感网用振动加速度传感器几点探索》PDF+DOC 无线传感网是由具有无线通信、数据采集和处理、协同合作等功能的无线传感器节点组成的网络。它是当今技术发展的一个热点，尤其在军事领域。无线传感网对所使用的传感器有一些严格的限制条件。首先，传感器的功耗要低；其次是精度要高，A/D转换的分辨率为16位；最后是传感器的体积要小。...
    9. 《一种压阻式三轴加速度传感器的设计》PDF+DOC 介绍了一种基于SOI的硅压阻式三轴加速度传感器的设计和制备.该三轴加速度传感器采用四个相互垂直的悬臂梁支撑中间质量块的结构.加速度传感器通过利用合理布置的压敏电阻构成的惠斯通电桥测量三个方向的加速度.对加速度传感器结构进行了理论分析和有限元仿真优化，确定加速度传感器的结构尺寸，并详细论述了三轴加速度......
    10. 《叠加电桥检测的加速度传感器设计》PDF+DOC 基于压阻效应的叠加电桥检测法加速度传感器采用超对称“八悬臂梁—质量块”结构，构成惠斯通电桥的力敏电阻器布放在悬臂梁的两端，4个惠斯通电桥的输出电压叠加后作为传感器的最终输出，有效提高了加速度传感器的灵敏度。通过数学建模仿真分析验证了方案的可行性。性能测试结果表明：该加速度计的灵敏度为1.1381mV......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。