作者：张正勇,杨地委 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2011年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2011040090 DOC编号：DOCCGQJ2011040099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 提出了一种利用气体吸收红外并产生热效应现象检测气体的方法，设计并制造了一种红外电容式气体传感器。该气体传感器采用在密封气室中密封纯净的被测气体，利用被测气体吸收红外的热效应并由此产生压力变化，该压力变化转换为弹性应变膜的应变致使平板电容器的电容变化，由于环境中被测气体与密封气室中被测气体对红外的差分吸收，使得电容的变化量与环境中被测气体的体积分数相关。对甲烷气体的实验结果表明：其检测下限为100&#215；10-6，分辨率为50&#215；10-6。

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