作者:赵海涛,陈吉安,王全保,范振民 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》2011年第10期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ2011100400 DOC编号:DOCCGQJ2011100409 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《3D打印纳米摩擦发电足弓压力传感器》PDF+DOC2020年第04期 宋本燕,陈硕,左涵,郭一凡,游正伟 《台阶阵列阴极真空微电子压力传感器研究》PDF+DOC1996年第03期 夏善红,崔大付,韩泾鸿,陈绍凤,王利 《碳纳米管场发射压力传感器结构设计与测试》PDF+DOC2005年第02期 钱开友,王芸,叶枝灿,颜丙勇,徐东,蔡炳初 《基于ANSYS仿真的阳极键合薄膜形变量的研究》PDF+DOC2017年第02期 葛益娴,彭波,张鹏,赵伟绩 《纤维素基柔性压力传感器及其性能表征》PDF+DOC2020年第01期 张浩,朱明 《浅析碳纳米材料在柔性压力传感器中的应用》PDF+DOC2019年第16期 陈虎越,梁涛,汤鑫,车润雨 《用于测定水中溶解氧的电化学传感器的设计与评价》PDF+DOC1990年第02期 许孙曲 《氧化物电极在氧化锆氧传感器上的应用》PDF+DOC2001年第05期 夏风,钱晓良,杨欣,刘光葵,孙尧卿 《硅压力传感器中硅玻璃阳极键合的热应力分析》PDF+DOC2009年第03期 张强,王鸣,戎华 《成长中的人造皮肤》PDF+DOC2012年第Z1期 包京京
  • 碳纳米管是场发射阴极的极佳材料。基于碳纳米管和金属铜的复合电镀技术,采用有限元软件对压力传感器的碳纳米管布设进行了有限元仿真,使用模拟退火算法对阳极变形膜的尺寸进行了优化,并设计了实现压力传感器的工艺过程。碳纳米管的管径在不影响电镀质量的情况下可尽量小,选取的长度不影响直立,间距在500 nm时可获得最大电流。阳极膜的压力窗最优厚度为0.209 84 mm,窗口长度4.917 8 mm,此时阳极膜的变形和应力均处于最大值。通过可行性工艺的执行,可制造出体积小、质量轻、灵敏度高的压力传感器。

    提示:百度云已更名为百度网盘(百度盘),天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。