《基于衍射光栅计量系统的非接触轮廓测量位移传感器》PDF+DOC
作者:黎新,陈育荣,王生怀
单位:沈阳仪表科学研究院有限公司
出版:《仪表技术与传感器》2011年第10期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYBJS2011100000
DOC编号:DOCYBJS2011100009
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聚集检测法是一种非接触轮廓测量方法,但是现有的聚焦检测法采用音圈电机,其测量精度有限。针对此问题,文中提出了一种非接触位移传感器,该传感器基于改进的傅科聚焦检测法,并带有衍射光栅计量系统。通过压电驱动器取代音圈电机驱动,并配合位移计量系统,提高了传感器的测量精度。在表面轮廓采样时,根据聚焦偏差信号,压电驱动器驱动聚焦透镜作垂直运动,使焦点始终在工件表面,同时衍射光栅计量系统测得聚焦透镜的垂直位移并将其作为采样点的轮廓高度。所有采样点的位移显示出被测量表面的整个轮廓,评定软件处理这些位移数据即可获得测量结果。该非接触的位移传感器的分辨率为10 nm。
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