作者：陈育荣,杨旭东,谢铁邦 单位：中国计量科学研究院 出版：《计量科学与技术》2007年第07期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJLJS2007070020 DOC编号：DOCJLJS2007070029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍了一种新型的基于改进傅科聚焦探测法且自带衍射光栅计量系统的非接触式位移传感器。因为没有采用音圈电机而是采用压电陶瓷驱动器，所以这种自带衍射光栅计量系统的传感器具有更高的精度。在测量工件表面形貌时，压电陶瓷驱动器驱动聚焦物镜进行垂直位移，从而确保在每一个采样间隔中焦点总是落在工件表面上，同时使得聚焦误差信号回零。该非接触式位移传感器的分辨力为10nm。

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