作者:余琼卫,冯钰锜 单位:中国科学院基础科学局;化学部;文献情报中心;国家自然科学基金委员会化学科学部 出版:《》 页数:13页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFHXJZ2011060160 DOC编号:DOCHXJZ2011060169 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 液相沉积法(LPD)是湿化学法中发展起来的一种全新成膜方法,现已广泛应用于集成电路、金属-氧化物半导体、生物传感器、光催化及抗菌材料领域功能性薄膜的制备。本文简要介绍了液相沉积法的原理、特点及采用LPD法制备的多种金属氧化物薄膜,并详细综述了近年来液相沉积技术在分析化学领域中的应用,主要包括LPD在制备分离介质、化学传感器、复合电极等材料中的应用,并对LPD法在分析化学中的未来发展趋势进行了展望。

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