作者:陈春林,钟传杰,于宗光 单位:四川固体电路研究所 出版:《微电子学》2011年第03期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFMINI2011030250 DOC编号:DOCMINI2011030259 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 根据PMOS辐照检测传感器在辐照时所产生的氧化层电荷(Qot)的两个不同模型,模拟计算了不同剂量条件下的亚阈值特性。结果表明,在满足一阶动力学方程下建立的Qot模型与实验结果较为吻合,并适用于更大范围的辐照剂量。此外,还讨论和计算了栅氧化层厚度、沟道掺杂浓度等参数对PMOS辐照检测传感器特性的影响。结果表明,栅氧化层厚度是影响阈值电压漂移量的主要因素。

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