作者：张德福,葛川,李显凌,倪明阳,郭抗 单位：中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版：《光学精密工程》2016年第01期 页数：9页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJM2016010190 DOC编号：DOCGXJM2016010199 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 设计了一种电容位移传感器在线标定平台，用于位移的高精度调节和检测。该平台的运动对称中心轴、测量光路的对称中心轴和传感器的传感轴共轴，故从测量原理上减小了阿贝误差。标定平台具有z/tip/tilt调节功能，保证了传感器的传感面和被测面板的被测面之间的装调对准。介绍了标定平台的组成和标定方法的原理，采用对称平行四边形机构实现了微位移调节，基于柔度矩阵法(CMM)分析了导向机构的输出柔度和行程。试验测得动平台行程为735.162μm，和有限元法(FEM)、CMM计算结果的误差分别为7.410%和4.633%，满足行程误差要求。经过标定补偿后，传感器的线性度由0.014 21%提高至0.006 231%。实验结果显示，该线性度标定方法精度高，标定后的传感器满足位移精密调节机构使用要求。

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