作者：邹风山,曲道奎,徐方,宋吉来 单位：大连组合机床研究所:中国机械工程学会生产工程分会 出版：《组合机床与自动化加工技术》2011年第09期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZHJC2011090060 DOC编号：DOCZHJC2011090069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 要保证碰撞发生时真空机器人与晶片的安全，避免造成较大的损失，真空机器人必须具有碰撞保护功能。在研究真空机器人位置误差变化的基础上，不使用额外的传感器，建立基于位置误差模糊推理的碰撞保护系统。该系统选用二维的模糊控制器来确定位置误差的阈值，以机器人加速度、机械惯量作为输入条件，估计的系统位置误差作为输出条件；并提出了不同的保护策略。最后给出了真空机器人碰撞的实验结果，结果表明该碰撞保护方法具有较高的准确性和灵敏度。

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