作者：张金龙,刘阳,郭怡倩,刘京南,内田敬久 单位：中国机械工程学会 出版：《机械工程学报》2011年第09期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJXXB2011090310 DOC编号：DOCJXXB2011090319 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《基于二维精密电容微位移传感器的二维纳米定位系统》PDF+DOC2005年第02期 王碧波,岳金福,周泽兵,彭益武 《基于物联网技术的室内环境智能控制系统设计》PDF+DOC 李伟,杨伟进,孙二杰,石震 《光纤智能土木结构概论》PDF+DOC2001年第04期 涂亚庆,李咏治 《自动公路系统横向控制研究》PDF+DOC2001年第03期 吴超仲,严新平 《焊缝自动跟踪系统中的智能控制》PDF+DOC2000年第08期 梁明,王国荣,石永华,刘桑 《探索纳米、皮米、飞米超精密传感器》PDF+DOC1996年第02期 阎永志 《基于智能控制的汽车发动机可变配气相位系统》PDF+DOC2003年第09期 陶建武,李理光,苏岩,肖敏,曾朝阳 《智能结构及其控制策略发展与应用》PDF+DOC2002年第06期 郑凯,刘和山 《超精密纳米时栅传感器试验系统设计》PDF+DOC2014年第06期 周启武,凌旭 《大范围小区域精密定位技术》PDF+DOC2011年第11期 张东灵,傅惠南,胡兵,库才高,徐宇

    • 研制了一套基于激光莫尔信号的超精密定位工作台，定位台以微型计算机为核心，采用激光莫尔传感器检测位置偏差，通过光、机、电的有机结合，可实现纳米级超精密自动定位。定位装置采用串联型粗、微双驱动的精密定位系统，粗动台由步进电动机通过精密丝杠机构直接驱动，可实现大行程微米级定位，微动台由压电陶瓷驱动器驱动，可实现纳米级定位。针对系统存在非线性、时变性，经典PID控制无法达到理想控制效果的缺陷，提出基于BP神经网络的精密定位智能控制，可有效改善定位系统的动、静态性能，提高重复精度。试验结果表明，精密定位台的工作行程可达50 mm，定位精度为&#177；10 nm，定位时间小于30 s。

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