作者：张子立,殷晨波,陶春,朱斌 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2010年第08期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2010080000 DOC编号：DOCYBJS2010080009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对微加热板气体传感器敏感薄膜上温度分布不均的缺点，在传统的微加热板传感器中加入了硅岛结构以均匀薄膜温度分布。利用有限元分析软件ANSYS对带有不同尺寸硅岛的传感器的温度分布进行了仿真和分析，得出了最佳的硅岛尺寸，并提出了一种新型的微加热板气体传感器结构设计，该传感器结构可以在性能不受影响的情况下简化制作工艺。

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