作者:张晓波,陕皓,刘丽,王连元,李守春,王国光 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》2013年第01期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ2013010360 DOC编号:DOCCGQJ2013010369 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微气体传感器微热板的优化设计》PDF+DOC2015年第04期 刘丽丽,何越,刘震,王连元,刘丽,苏畅,薄小庆,张晓波 《新型气体传感器微热板的设计与优化》PDF+DOC2014年第07期 迟霄,张晓波,刘丽,何越,王连元 《一种新型微结构气体传感器电极设计分析》PDF+DOC2012年第12期 韩郁,刘丽,陕皓,王连元,李守春,李伟,田云霞,魏爱国 《微气体传感器微热板电极结构的设计与优化》PDF+DOC2014年第09期 刘丽丽,王连元,郭欣,刘震,刘丽 《微热板的热测试和热分析》PDF+DOC2001年第02期 顾毓沁,张荣海,朱德忠,孙晓毅,阎桂珍,唐祯安,Philip C.H. Chan,Johnny K.O. Sin,I-Ming Shing 《ANSYS有限元分析软件在微结构气敏元件电极设计的问题研究》PDF+DOC2015年第02期 刘航,李洋 《基于ZnO的微气体传感器的设计与优化》PDF+DOC2017年第06期 官修龙,刘丽,刘震,何越,王连元 《新型共平面微气体传感器微热板的优化设计》PDF+DOC2017年第09期 官修龙,刘丽,何越,王连元 《基于辐射功率的微热板测温系统设计》PDF+DOC2008年第04期 漆奇,张彤,刘丽,刘奎学,徐宝琨 《一种加热丝埋入式微热板的研制》PDF+DOC2013年第10期 丁如义,张欢,孙全涛,王海容,陈磊
  • 设计了一种新型微气体传感器的电极结构,这种共平面型电极结构消除了加热器产生的磁场对测量信号的干扰。利用铂作为电极材料,SiO2作为隔热层,利用有限元软件分析优化,当SiO2,Si的厚度分别为50,250μm,加热电极的宽度、信号电极的宽度和间距分别为150,15,60μm时,传感器获得的中心温度较高且比较均匀的中心温度分布,有利于传感器整体性能的提高。

    提示:百度云已更名为百度网盘(百度盘),天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。