作者:刘猛,王军波,李玉欣,陈德勇 单位:中国微米纳米技术学会;东南大学 出版:《传感技术学报》2010年第08期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGJS2010080050 DOC编号:DOCCGJS2010080059 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 在谐振器动力学分析的基础上,系统地比较了谐振式压力传感器检测速度谐振频率和检测位移谐振频率的优缺点。设计出一种零相移的电磁激励谐振式MEMS压力传感器闭环控制系统,该系统利用检测速度谐振频率提高传感器的信号检测稳定性,并且控制电路无需移相环节即可保证传感器在工作频率范围内实现稳定可靠的闭环自激。实验结果表明,采用该闭环控制系统的传感器具有较高的稳定性,传感器长时漂移低于0.025%F.S.,在10 hPa~1050 hPa范围内非线性度为0.06%。

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