作者：石延平,倪立学,周庆贵 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2010年第09期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2010090120 DOC编号：DOCCGJS2010090129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为提高压力传感器温度稳定性，对一种利用Fe基非晶态合金压磁效应的薄膜压力传感器进行了可行性研究。论述了这种传感器的结构、工作原理、输出特性以及主要参数的选择。通过负压标定试验，分析了传感器的静态特性以及温度对输出的影响。试验结果表明，设计的传感器最大静态误差为1.17%，最大灵敏度为0.7374mV/kPa，温度零点漂移为0.936%F.S/℃。另外，传感器结构简单，工作可靠，在低压力检测时，温度稳定性高。

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