作者：何昱蓉,贾利成,何常德,宋军华,宋金龙,张文栋 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2018年第08期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2018080060 DOC编号：DOCBDTQ2018080069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《基于SOI-MEMS工艺的谐振式压力传感器研究》PDF+DOC2013年第06期 曹明威,陈德勇,王军波,焦海龙,张健 《一种新型服装压力传感器的研究》PDF+DOC2009年第01期 周国鹏,吴世林,张智明 《谐振式MEMS压力传感器的制作及圆片级真空封装》PDF+DOC2014年第05期 陈德勇,曹明威,王军波,焦海龙,张健 《基于ANSYS仿真的阳极键合薄膜形变量的研究》PDF+DOC2017年第02期 葛益娴,彭波,张鹏,赵伟绩 《硅基传感器的微机械加工》PDF+DOC1998年第04期 陈汉松,李坤,李金华 《雷管在不同介质中冲击起爆压力的研究》PDF+DOC1999年第01期 陈网桦,彭金华,乔小玲,王福力,刘荣海 《聚合物挤出压力测试系统设计方法及功能分析》PDF+DOC1998年第04期 闫宝瑞,郭奕崇,刘颖 《振弦式单、双膜片土压力传感器在不同介质作用下输出特性的探讨》PDF+DOC1986年第01期 章模通,徐瑞兰,李劭 《石英镀膜应变计在称重传感器和力传感器中的应用》PDF+DOC1989年第05期 Jean Pierre Aumand,贾铭 《生物/化学微传感器技术和应用(二)》PDF+DOC2008年第11期 史永基,高雅利

    • 针对0~0.3 N压力的大小与分布测试，设计了一款电容式压力传感器。通过ANSYS仿真与Matlab数据分析，确定传感器单个敏感单元半径为80μm，腔高0.5μm，膜厚2.5μm。阵元内敏感单元呈行列排布。设计工艺加工流程与版图，并进行干法刻蚀、减薄和键合等关键工艺加工。使用阻抗分析仪和压力计搭建测试平台，结果显示加工得到的压力传感器初始电容平均值为38.03 pF，阵列内电容一致性良好，灵敏度为9.5 pF/N，线性度良好，连接配套数据处理电路可实现压力分布测试。初步满足在小量程压力条件下测试要求，验证了该传感器结构的可靠性，为制备小量程压力传感器奠定基础。

    📙 相关资料

    1. 《基于SOI-MEMS工艺的谐振式压力传感器研究》PDF+DOC 提出了一种电磁激励、差分检测的谐振式MEMS压力传感器，该器件采用低电阻率的SOI器件层单晶硅制作“H”型谐振梁，并作为激励和检测电极。根据对传感器数学模型的分析，利用有限元分析方法优化了传感器结构设计。采用等离子深刻蚀制作传感器结构，并用湿法腐蚀SOI二氧化硅层的方法释放。利用硅-玻璃阳极键合技术......
    2. 《一种新型服装压力传感器的研究》PDF+DOC 文中介绍了一种新型的服装压力传感器的设计与工作原理，并利用ANSYS软件进行传感器工作仿真试验，测试结果符合设计要求，能够很好地适用于服装压力的测量，并能构成分布式测量系统实现多测试点同时监测。...
    3. 《谐振式MEMS压力传感器的制作及圆片级真空封装》PDF+DOC 为了提高传感器的品质因数，有效保护谐振器，提出了一种基于绝缘体上硅(SOI)-玻璃阳极键合工艺的谐振式微电子机械系统(MEMS)压力传感器的制作及真空封装方法。该方法采用反应离子深刻蚀技术(DRIE)，分别在SOI晶圆的低电阻率器件层和基底层上制作H型谐振梁与压力敏感膜；然后，通过氢氟酸缓冲液腐蚀S......
    4. 《基于ANSYS仿真的阳极键合薄膜形变量的研究》PDF+DOC 阐述了一种利用阳极键合技术加工的光纤法布里-珀罗MEMS压力传感器的工作原理，建立了考虑阳极键合产生的热应力作用下边界固支的圆膜受外加压力的薄膜形变量公式。利用有限元分析软件ANSYS对与玻璃环键合后实际结构中的膜片在压力作用下的挠度变化进行模拟，采用麦夸特(Levenberg-Marquardt)......
    5. 《硅基传感器的微机械加工》PDF+DOC 叙述了硅基传感器微机械加工的特点和要求，简要说明了硅衬底微细加工的常用方法。并以高过载双向压力传感器和悬空结构热释电传感器的硅衬底微细加工为例，作了进一步说明。传感器性能的测试结果表明了微机械加工对提高传感器性能的重要性。...
    6. 《雷管在不同介质中冲击起爆压力的研究》PDF+DOC 本文用殉爆实验求出了８＃纸雷管在空气以及在硬质聚氨酯泡沫塑料（ＲＰＵＦ）中的半爆距离，并分别用石英晶体传感器及ＰＶＤＦ传感器对雷管在空气中及ＲＰＵＦ材料中爆炸时的压力分布进行了测试．根据测试结果，用插值的方法求出了这两种介质中雷管在冲击波作用下的冲击起爆压力，并从理论上用平面冲击波的ｐ～ｕ曲线对此结......
    7. 《聚合物挤出压力测试系统设计方法及功能分析》PDF+DOC 从挤出过程中压力信号的特点出发，提出了对测试系统采样频率的要求。依据高温熔体压力传感器的原理，给出了在测试系统的设计过程中，如何处理温度零点漂移的方法及计算实际压力的公式。简要介绍了一套测试系统的硬件组成及软件的核心部分——采集子程序框图。最后，从使用者的角度和挤出试验的特点出发，给出了一套测试系统......
    8. 《振弦式单、双膜片土压力传感器在不同介质作用下输出特性的探讨》PDF+DOC 本文对振弦式单、双膜片土压力传感器在不同介质作用下的输出特性进行了探讨。文中分别介绍了单、双膜片传感器结构、介质作用的影响及误差分析，并且介绍了单、双膜片传感器输出特性受不同介质影响的试验，可供参考。...
    9. 《石英镀膜应变计在称重传感器和力传感器中的应用》PDF+DOC 1.前言利用金属镀膜技术制作应变计，可以做出中等性能的称重传感器，力传感器以及压力传感器。由于应变敏感元件镀在高稳定的石英基片上，传感器在时间和温度上都能做到极其稳...
    10. 《生物/化学微传感器技术和应用(二)》PDF+DOC 本文综述了生物/化学微传感器的技术和应用，详细描述了起源于半导体技术的标准工艺流程和制造三维机械结构的特殊微细机加工工艺，给出了基本化学传感器原理和对应的化学/生物传感器应用实例，最后提出了单片集成化学/生物微传感器系统，包括单一芯片上传感器结构和运转电路。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。