作者：祁欣,周明军,张洪泉 单位：中国航空工业集团公司;北京长城计量测试技术研究所 出版：《计测技术》2010年第S1期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHKJC2010S10630 DOC编号：DOCHKJC2010S10639 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 利用MEMS技术将化学生长的Al2O3模板加工成传感器的微悬梁结构，并将其应用于催化燃烧式气体传感器的基底。采用平面薄膜工艺制作出铂薄膜电阻器，涂敷Al2O3-SnO2-Ti02-Pd和Al2O3-SnO2-Ti02-Pt，形成催化敏感桥臂和温湿度补偿桥臂，从而制作出乙炔传感器。测试结果表明：传感器可实现乙炔浓度为0～15000&#215；10-6的检测，具有线性输出特性，同时对乙炔传感器的长期稳定性进行了研究。

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