作者：郑蓓蓉,薛伟,周晨,张淼 单位：中国机械工程学会 出版：《中国机械工程》2010年第07期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZGJX2010070090 DOC编号：DOCZGJX2010070099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 针对超低量程微型压力传感器和表面微机械加工的多晶硅压力传感器在高精度测试时和宽温区使用时灵敏度温度系数补偿量大的特点，提出应用“集成恒流源网络”来补偿灵敏度温度系数的方法，推导了定量补偿的公式。灵敏度温度漂移补偿实验中，通过温度周期的调节标定，补偿后灵敏度温度系数绝对值容易达到10&#215；10-6/℃~50&#215；10-6/℃满量程输出，从而验证了该方法的可行性和实用性，表明用集成恒流源补偿压阻式压力传感器具有补偿量大、成本低、效果好、精度高、容易集成等优点，在器件制作中有很大的应用前景。

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