作者：赵以贵,刘明,牛洁斌,陈宝钦 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》2010年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG2010030030 DOC编号：DOCYDSG2010030039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《散射通讯用的SAW短延迟线》PDF+DOC1984年第03期 付素媛,廖代才 《浅谈SAW气敏传感器的发展》PDF+DOC2006年第06期 孙海山,余愚,蒋永华 《雷达距离欺骗干扰技术与SAW延迟线》PDF+DOC1997年第03期 杨晓东,江洪敏 《一种SAW气体传感器的设计考虑》PDF+DOC1994年第01期 秦树基 《SAW温度传感器的设计和研制》PDF+DOC1992年第02期 陈裕泉 《SAW气体传感器的转换机制》PDF+DOC1993年第S1期 秦树基 《声表面波(SAW)气体传感器》PDF+DOC1989年第02期 李同泽 《一种基于SAW的无线标签识别系统》PDF+DOC2001年第05期 邓勇,施文康,刘艾 《基于延迟线理论的无源声表面波气体传感器》PDF+DOC2012年第04期 张昊,罗文广,于滢源,曹莹 《一种便携SAW气体传感器的电路设计》PDF+DOC2011年第04期 侯成诚,闫学锋,汪幸,周文,李冬梅,刘明,陈军宁

    • 电子束光刻(EBL)具有高的分辨率，能制备具有亚微米尺寸的声表面波(SAW)器件。一种采用EBL技术制备用于气体传感器的具有亚微米尺寸的SAW延迟线的方法：首先利用EBL在压电衬底上获得叉指换能器(IDT)的电子抗蚀剂图形；然后用剥离工艺制作出IDT电极。通过邻近效应校正和提高场拼接精度，制作的叉指电极具有一致性，电极形貌好。相对于干法刻蚀工艺，剥离工艺避免了对压电衬底表面的物理损伤。该技术为实现特征尺寸达到百纳米级的更高工作频率SAW器件的制造提供了很好的途径。

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