作者：庞士信,王超,匡石 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2010年第10期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2010100020 DOC编号：DOCYBJS2010100029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 差动式硅电容传感器应用广泛，对差动电容信号的检测调理至关重要。文中以FPGA芯片为核心，其产生的正弦载波信号用于调制差动电容信号的变化，已调信号再次输入FPGA进行互相关解调及数字滤波后，得到反映差动电容变化的电容差信号，然后经非线性补偿，可以输出非线性度小于0.1%的数字信号。这样避免了采用模拟电路容易受到外界干扰，且提高了动态检测的速度和非线性补偿的精度。

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