作者：焦正,吴明红 单位：北京信息科技大学 出版：《传感器世界》2004年第01期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGSJ2004010010 DOC编号：DOCCGSJ2004010019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文综述了近年来日本基于MEMS的传感器在企业和高校的研究进展，简述了各类MEMS传感器的结构特点与微机械加工技术，对我国MEMS传感器的研究与发展将有很大的借鉴作用。

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