作者：杨挺,孙国胜,吴海雷,闫果果,宁瑾,赵永梅,刘兴昉,罗木昌,王雷,赵万顺,曾一平 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2010年第07期 页数：10页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2010070090 DOC编号：DOCBDTQ2010070099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 主要介绍了近年来国内外出现的有市场推广潜力的立方相碳化硅(3C-SiC)MEMS器件，详细描述了其中一些典型器件的基本结构、加工工艺及初步测试结果，并指出了要想提高器件的可靠性，需要获得低残余应力、低应力梯度的薄膜材料，应当采用合适的刻蚀方法，还需保证金属与碳化硅欧姆接触的稳定性，同时高温引线键合与封装工艺亦不能忽视。随着材料生长和加工成本的不断降低，3C-SiC基MEMS器件将会逐步走向商品化。

    📙 相关资料

    1. 《基于低成本MEMS器件的捷联航姿系统设计》PDF+DOC 随着军事和工程领域的进步和发展，对航姿系统功能提出了更高的要求，航姿系统也逐渐向低成本和微小型的方向发展。本文在惯性测量单元的基础上进行了优化，设计基于低成本MEMS器件的航姿系统，分析了系统的硬件和软件，论述了系统算法，总结了试验结果。...
    2. 《基于MEMS器件的客船防倾覆应急气囊系统设计》PDF+DOC 该文针对客船在恶劣气候条件下，由于不均布载荷及随机突风的作用导致发生不规则瞬时倾覆的问题，类比汽车安全气囊系统，设计出基于MEMS惯性传感器的内河客船应急气囊系统，该应急处理系统增添了船舶姿态预判断与气囊瞬时释放模块，并由高性能三维姿态传感器、倾角传感器、STM32单片机、气囊装置以及烟火式气体发生......
    3. 《链条预拉强化处理的研究及预拉机设计》PDF+DOC 一、概述链传动广泛地应用到农机、矿机、石油钻机、汽车等机械中，随着链传动在各种机械中的应用，提高链条产品的疲劳性能，已成为链条生产中的重要技术问题。对链条采用预拉强化处理是在现有生产基础上不改变材质和加工工艺而又能提高疲劳性能的重要途径，预拉处理是指链条成品在一...
    4. 《框架类弹性元件残余应力分析》PDF+DOC 一、前言传感器的稳定性是目前生产厂及其用户共同关心的问题，很多生产厂均在研究分析高稳定度、高精度传感器，有专家提出：“研究在工艺实施过程中如何尺量减少弹性元件的残余应力是第一位。”应严格保证应变区尺寸精度和表面粗糙度来防止产生较大的表面残余应力。如何减少传感器的体积残余应力是生产稳定性传感器较重要的......
    5. 《非晶态硅及其应用》PDF+DOC 本文介绍了新型电子薄膜材料非晶态硅的特性，制作方法以及利用非晶态硅薄膜各种特性的应用器件。...
    6. 《新型薄膜材料的特性和应用》PDF+DOC 本文主要叙述最近一个时期发展的新型压电薄膜及其在SAW方面的应用。除了CdS，ZnO，A1N之外，最近又出现了两种有希望的压电薄膜材料，取向性Ta_2O_s膜和剪切ZnO膜。前者具有高的化学稳定性和时间稳定性，而声学特性相当于ZnO压电膜。后者具有高的耦合系数，低的声速，好的温度稳定性。 另外，还概......
    7. 《微机电系统发展及其应用》PDF+DOC 本文介绍了MEMS国内外发展状况和关键技术，并对MEMS在医学和军事领域的应用作了详细阐述。...
    8. 《MEMS在汽车电器电子技术中的应用现状与发展趋势》PDF+DOC MEMS是多种学科交叉融合的前沿高新技术，MEMS具有体积小、质量轻、耗能低、惯性小、响应时间短等许多优点，在汽车电器电子技术中具有重要的用途。本文介绍了目前MEMS发展的国内外状况，并对MEMS在汽车电器电子技术中的应用、发展趋势及其对汽车电器电子技术的影响进行了分析与探讨。...
    9. 《基于MEMS器件的姿态航向系统实现》PDF+DOC 针对目前捷联式姿态航向系统低成本、低功耗、高精度、微型化的发展趋势，提出一种基于MEMS器件的姿态航向系统的实现方案，介绍了该系统的方案设计与算法原理，实验证明该系统可以很好的测量出载体的姿态航向，可用于小型无人直升机的导航控制中。...
    10. 《MEMS器件及其设备》PDF+DOC MEMS(Microelectro mechanical system)器件是一种微型机电一体化的SOC。2008年MEMS器件市场为72.97亿美元，2011年将达到108亿美元，2006～2011年年复合平均增长率为13%。2011年MEMS系统级市场将达720亿美元。MEMS器件中发展最快的器......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。