作者:王凤伟,张辉,邓善熙,曾汉平 单位:中国机械工程学会 出版:《中国机械工程》2009年第13期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFZGJX2009130050 DOC编号:DOCZGJX2009130059 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微纳米级差压式气针传感器的研制》PDF+DOC2009年第02期 王凤伟,张辉,邓善熙,唐海勇,曾汉平 《高精度气动传感器的研究》PDF+DOC2009年第07期 王凤伟,张辉,邓善熙,牛学虎 《用于尺寸测量的气针式传感器初探》PDF+DOC1999年第05期 赵前程,邓善熙,张辉,梁发云 《气动测量传感器误差研究》PDF+DOC1997年第04期 胡生清,胡毅 《反射式气动传感器的误差研究》PDF+DOC2001年第S2期 丁兴号,赵前程,邓善熙 《基于虚拟仪器技术的气针式传感器研制》PDF+DOC2011年第05期 冯艳 《卷吸背压式气动传感器的研究》PDF+DOC2014年第02期 乔帅,苏智剑,林能涛 《高分辨力智能型气动测微仪》PDF+DOC2013年第09期 崔廷,沈小燕,林杰俊,李东升 《杠杆式电感传感器的参数设计及其误差分析》PDF+DOC1994年第01期 孙克权 《容栅测角数显仪的误差分析》PDF+DOC 吕家云,许磊,蒋全胜
  • 介绍了一种基于差压式气路的气针传感器的设计方法和工作原理。分析了影响气动测量精度的主要误差因素,如工作压力的波动、电器误差、空气质量和非线性误差等,并通过相应的措施对误差给予补偿,提高了气动测量的精度和灵敏度。该气针传感器的测量范围为55μm,分辨力为0.02μm,静态误差小于0.23μm。研究结果为气动测量应用于高精度高分辨力的非接触尺寸测量提供了理论和试验依据。

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