作者：韩有君,赵湛,杜利东,方震,王晓蕾 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2009年第10期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2009100020 DOC编号：DOCYBJS2009100029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为解决传统电容式测风传感器的输出非线性，设计了一种基于MEMS微机械加工技术的电容式风速传感器。传感器的敏感结构创新性地采用了一个三层结构的悬臂梁，这种三层结构的悬臂梁构成了一个平行板电容器。风力作用于传感器敏感结构引起电容器的极板面积、极板间距以及绝缘层介电常数的变化，从而引起电容器输出电容的变化，通过测量传感器输出电容的变化值可以实现风速的测量。基于流体力学原理和多层悬臂梁理论对传感器进行了理论分析，并为传感器设计了制作工艺流程。

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